小型探針臺(tái)
探針臺(tái)的系統(tǒng)組成包括：
探針臺(tái)體
體視顯微鏡
單筒顯微鏡
觀察攝像組件
探針座&夾具
直流探針
開爾文探針
射頻/微波探針
光波探針
光學(xué)隔振臺(tái)
屏蔽黑箱
轉(zhuǎn)接頭
真空氣泵
其他升級(jí)組件
總體規(guī)格特點(diǎn):
重量：30kg
尺寸：450mm寬x400mm深x600mm高
優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì)，便于工程師長時(shí)間舒適的操作。 載臺(tái)（chuck）規(guī)格：
4英寸/6英寸載臺(tái)，直徑101.6mm/152.4mm，平整度：±3μm
載臺(tái)采用真空吸附方式吸附樣品，小吸附樣品尺寸為5mmx5mm
載臺(tái)X-Y軸微調(diào)行程101.6mmX101.6mm，微調(diào)分辨率1μm
載臺(tái)Z軸方向微調(diào)升降10mm，微調(diào)分辨率1μm
載臺(tái)水平角度調(diào)節(jié)范圍0°～360°，旋轉(zhuǎn)精度0.01°
載臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，可作背電極使用。
針座臺(tái)面規(guī)格:
U型拋光不銹鋼臺(tái)面
針座臺(tái)面平整度：±3μm
可容納針座數(shù)量：4~6個(gè)。
顯微鏡操縱規(guī)格:
配有擺臂調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y任意方向的快速移動(dòng)
顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦旋鈕，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動(dòng)精度1μm。
應(yīng)用場景：
直流IV/CV測試
Pulse IV測試
阻抗測試
時(shí)域分析測試
有源射頻測試
無源射頻/微波測試。
| 探針臺(tái)型號(hào) | HTP-400 | HTP-600 | |
| 外形尺寸 | 寬450mm 深 400mm 高 600mm | 寬450mm 深 400mm 高 600mm | |
| 整體重量 | 約 30Kg | 約 40Kg | |
| 樣品臺(tái) | 尺寸 | φ4英寸 | φ6英寸 |
| 材質(zhì) | 拋光不銹鋼/鍍金 | 拋光不誘鋼/鍍金 | |
| 平整度 | ±3um | +3um | |
| 吸附方式 | 真空吸附 | 真空吸附 | |
| 電學(xué)特性 | 浮地懸空 背電極信號(hào)加載&測量 | 浮地懸空 背電極信號(hào)加載&測量 | |
| X-Y軸調(diào)節(jié)行程 | 4英寸*4英寸 | 6英寸x6英寸 | |
| X-Y軸調(diào)節(jié)方式 | 線性無回差 1um 精調(diào) | 線性無回差 1um 精調(diào) | |
| Z 軸升降調(diào)節(jié)行程 | 0-10mm，精度1um | 0-10mm，精度1ym | |
| θ水平方向旋轉(zhuǎn)角度粗調(diào) | 0-360° | 0-360° | |
| θ水平方向旋轉(zhuǎn)角度微調(diào) | ±5°， 精度 0.1° | ±5°, 精度 0.1° | |
| a垂直方向擺動(dòng)角度微調(diào) | +20°，精度 0.1° | ±20°，精度 0.1° | |
| 顯微鏡 | X-Y軸調(diào)節(jié)行程 | 萬向臂快速調(diào)整 | 萬向臂快速調(diào)整 |
| Z 軸升降行程 | 50mm，粗細(xì)同軸調(diào)焦 | 50mm，粗細(xì)同軸調(diào)焦 | |
| 顯微鏡類型 | 三目體視/單筒顯微鏡 | 三目體視/單筒顯微鏡 | |
| 光學(xué)倍率 | 90X/135X1180X1270X | 90X/1135X/1180X/270X | |
| 光學(xué)分辨率 | 10um / 7.5um / 5.6um / 3.7um | 10um / 7.5um /5.6um / 3.7um | |
| 工業(yè)相機(jī)像素 | 1920 x 1060P | 1920 x 1080P | |
| 針座臺(tái)面 | 外型 | U型 | U型 |
| 材質(zhì) | 拋光不銹鋼 | 拋光不銹鋼 | |
| 平整度 | ±3um | ±3um | |
| 容積 | 至多放置6個(gè)探針座 | 至多放置6個(gè)探針座 | |
| 探針李點(diǎn)測定位精度 | 1.4um / 0.7um /0.35um | 1.4um /0 7um/0.35um | |
| 探針麈支持測量類型 | 低頻/高頻/大功率/光波 | 低頻/高頻1大功率/光波 | |
| 測量范圍 | 低頻測量電流精度 | 10pA(Coaxlal) 100fA (Traxlal) 10fA (Kelvin) | 10pA (Coaxial) 100fA (Triaxal) 10fA (Kelvin) |
| 高頻測量頻率范圍 | DC-1100GHz | DC-1100GHZ | |
| 大功率測量范圍 | 10KV/1500A | 10KV/1500A | |
| 光波測量范圍 | 紫外/可見光/紅外 | 紫外/可見光/紅外 | |