微定位底座
精細準確的探針座微定位功能
1. 精細螺紋加工技術，螺紋牙距80TPI/100TPI/200TPI/300TPI，對應的定位精度分別為1.4微米/0.7微米/0.35微米/0.25微米；螺紋牙距指的是相鄰兩牙在中徑線上對應兩點間的軸向距離。用TPI=Thread Per Inch即每英寸（25.4mm）有多少個螺牙來表示。
例如：100TPI代表的位移精度=25.4mm/100/360°=0.0007mm=0.7μm；2. 線性V型軌道設計，從頭到尾、由正向反順暢一致的行程，無蛇形、無回差準確地“定點降落”到測試點；
3. 精密裝配技術，數(shù)月、數(shù)年的反復使用，無崩牙，極低故障率。
HMP-200規(guī)格：
重量 1200克
精度 0.35μm
牙距 200螺紋/英寸
X-Y-Z線性移動范圍 12mmX12mmX12mm
特點：無回差線性移動，可靠性非常好
吸附類型：磁性可開關型吸附底座
三同軸（Triaxial）探針夾具
適用于測量微弱電流<100fA
HMP-100規(guī)格：
重量 1000克
精度 0.7μm
牙距 200螺紋/英寸
X-Y-Z線性移動范圍 12mmX12mmX12mm
特點：無回差線性移動，可靠性好
吸附類型：磁性可開關型吸附底座
三同軸（Triaxial）探針夾具
適用于測量微弱電流<100fA
HMP-80 規(guī)格：
重量 500克
精度 1μm
牙距 80螺紋/英寸
X-Y-Z線性移動范圍 12mmX12mmX12mm
特點：無回差線性移動，可靠性好
吸附類型：磁性可開關型吸附底座
三同軸（Triaxial）探針夾具，弱電流測量精度<100fA
同軸（Coaxial）探針夾具，弱電流測量精度<10pA。