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常見的半導(dǎo)體晶圓(Wafer)量測方法
1.晶圓缺陷粒子檢測系統(tǒng)顆粒和缺陷:顆粒和缺陷導(dǎo)致晶圓表面不規(guī)則形貌。散射入射光:通過檢測散射光來監(jiān)測顆粒和缺陷。晶圓缺陷檢測系統(tǒng)可以通過獲取缺陷的(X,Y)坐標(biāo)來檢測晶圓上的物理缺陷(顆粒)和圖案缺...
2024-05-27
半導(dǎo)體檢測設(shè)備在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中意義重大
由于晶圓生產(chǎn)附加值極高,因此半導(dǎo)體檢測設(shè)備在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的地位日益凸顯。2020年,我國半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到176億元。隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,我國......
2024-05-27
一文看懂半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢:國產(chǎn)化空間大
全球檢測和量測設(shè)備現(xiàn)狀1、市場規(guī)模全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模來看,隨著半導(dǎo)體下游消費(fèi)電子和PC等需求2020-2021年市場回暖尤其是2021年明顯增長,......
2024-05-27
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