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F50薄膜厚度測量儀
依靠F50先進的光譜測量系統(tǒng),可以很簡單快速地獲得最大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r0極坐標移動平臺,可以非?？焖俚亩ㄎ凰铚y試的點并測試厚度,每秒測試兩點
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