1. 臺體及樣品臺尺寸：

• 4英寸/6英寸/8英寸/12英寸。

2. 顯微觀察倍率：

• 體視顯微鏡：綜合放大倍率14X~180X（配合CCD工業(yè)相機(jī)+顯示器），光學(xué)小分辨率約5微米；
• 金相顯微鏡：綜合放大倍率20X~500X （配合CCD工業(yè)相機(jī)+顯示器），光學(xué)小分辨率約2微米；
  綜合放大倍率20X~2000X （配合CCD工業(yè)相機(jī)+顯示器），光學(xué)小分辨率約0.5微米。

3.大功率測量范圍：10KV/1500A